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的耗尽电容引起的,它包括沟道-主体电容(假设晶体管导通)。它的值由下式表示:
'
C = A +A C
sb ( s ch ) js
其中,A 是源极结的面积,A 是沟道的面积(即WL),C 是源极结的耗尽电容,表
s ch js
示为
63
…………………………………………………………Page 512……………………………………………………………
C
j 0
C =
js
V
1+ SB
Φ
0
注意,有效源极的总面积包括结的原始面积(不包括沟道)加上沟道的有效面积。
漏极的耗尽电容极小,因为它不包括沟道面积。这里有
'
C = A C
db d jd
其中
C
j 0
C =
jd
V
DB
1+
Φ
0
Ad 是源极结的面积。
电容C ,有时称为米勒电容,它在晶体管用于大电压增益电路中时非常重要。C 最
gd gd
初是由于栅极和漏极和边缘电容相重叠引起的,它的值见下式:
C ≈WL C
gd ov ox
其中,LOV 也是由经验取得。
漏极和源极的侧壁电容,Cs …sw 和 Cd …sw 在集成电路中通常也很重要。这些电容可以很
大,因为在被称为场植入管的较厚的场氧化物的下面有一些杂质较多的p + 区。这些区域
存在的主要原因是要保证晶体管中没有漏电流。因为侧壁电容掺杂了较多杂质而且位于多
杂质的源极和漏极结旁边,所以它们可以形成较大的附加电容,在决定 Csb 和 Cdb 时必须加
以考虑。在元件尺寸不断缩小的现代技术中,侧壁电容便显得特别重要。对于源极,侧壁
电容可由下式求出:
C =PC
s …sw s j …sw
其中,P 为源极结的周长,不包括与沟道相邻的一边,且
s
C
j …sw 0
C =
j …sw
V
SB
1+
Φ
0
64
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应该注意的是,OV偏置电压下每单位长度的侧壁电容 C 由于场植入管杂质量大而
j …sw 0
可以非常大。
对于漏极的侧壁电容 Cd …sw ,情况类似
C =P C
d …sw d j …sw
其中,P 为不包括与栅极相邻部分边的周长。
d
最后,源体-主体电容 Csb 由下式表示:
'
C =C +C
sb sb s…sw
漏体-主体电容 Cdb 由下式表示
'
C =C +C
db db d …sw
例 一 个 NMOS 管 模 型 化 后 具 有 以 下 参 数 : Cj =2。4 ×10…4 pF /(um)2 ,
…4 …3 2
Cj …sw =2。0 ×10 pF / um , Cox =1。9×10 pF /(um) ,
C =C =2。0 ×10…4 pF / um 。晶体管W=100um;L=2um,求电容 、 、C 和 C 。
C C
gs …0V gd …0V gs gd db sb
假设源极和漏极结延伸出栅极 4um,使得源极和漏极面积为 As =Ad =400(um)2 ,两者的
周长都为P =P =108um 。
s d
解:各个电容计算如下:
2
C WLC C W pF
= + × =0。27
gs ox gs …0v
3
Cgd =Cgd …0v ×W =0。02 pF
C =C ( A +WL) + C ×P =0。17 pF
sb j s ( j …sw s )
C =(C A ) + C ×P =0。12 pF
db j d ( j …sw d )
注意:源极-主体和漏极-主体电容要比栅极-源极电容更有意义。所以,对于高速
65
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电路,保持漏极和源极结的面积和周长尽可能小(可以通过晶体管之间共用结做到)是非
常重要的。
9.1.3 SPICE 小信号模型参数
饱和区和线性区电容计算:
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版图如下:
SPICE模型:
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电路频率特性分析用LEVEL3SPICE模型参数:
。MODEL nmos NMOS LEVEL=3, TO